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無(wú)塵室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。
它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

目錄

一、無(wú)塵室 

二、無(wú)塵室控管之項(xiàng)目 

三、無(wú)塵室之分類(lèi) 

1. 1.亂流式(Turbulent Flow)： 

2. 2.層流式(Laminar)： 

3. 3.復(fù)合式(Mixed Type)： 

4. 比較 

5. 相關(guān)概念： 

四、無(wú)塵室氣流之流動(dòng) 

五、無(wú)塵室之構(gòu)成 

1. (1)天花板系統(tǒng)： 

2. (2)空調(diào)系統(tǒng)： 

3. (3)隔墻板(Partitional wall)： 

4. (4)地板： 

5. (5)照明器具： 

6. （6）無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造 

六、無(wú)塵室按用途分類(lèi)（可分為兩大類(lèi)） 

1. （1）、工業(yè)無(wú)塵室 

2. （2）、生物無(wú)塵室， 

七、無(wú)塵室污染源知識(shí) 

1. 1、發(fā)塵量 

2. 2、發(fā)菌量 

3. 工作人員產(chǎn)生的污染： 

4. 分析國(guó)外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為： 

八、無(wú)塵室有五個(gè)特性 : 

1. (1) 耐久性: 

2. (2) 清洗: 

3. (3) 成本: 

4. (4) 適應(yīng)性: 

5. (5) 維護(hù)性: 

無(wú)塵室用空調(diào)箱選用時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng) 

1. (一) 就政府法令而言 

2. (二) 就成本而言 

3. (三) 就工作參數(shù)設(shè)定而言 

4. (四) 就建筑考慮方面 

5. (五) 就管理合成物的規(guī)格方法 

展開(kāi) 

一、無(wú)塵室 

二、無(wú)塵室控管之項(xiàng)目 

三、無(wú)塵室之分類(lèi) 

1. 1.亂流式(Turbulent Flow)： 

2. 2.層流式(Laminar)： 

3. 3.復(fù)合式(Mixed Type)： 

4. 比較 

5. 相關(guān)概念： 

四、無(wú)塵室氣流之流動(dòng) 

五、無(wú)塵室之構(gòu)成 

1. (1)天花板系統(tǒng)： 

2. (2)空調(diào)系統(tǒng)： 

3. (3)隔墻板(Partitional wall)： 

4. (4)地板： 

5. (5)照明器具： 

6. （6）無(wú)塵室之建筑主體構(gòu)造 

六、無(wú)塵室按用途分類(lèi)（可分為兩大類(lèi)） 

1. （1）、工業(yè)無(wú)塵室 

2. （2）、生物無(wú)塵室， 

七、無(wú)塵室污染源知識(shí) 

1. 1、發(fā)塵量 

2. 2、發(fā)菌量 

3. 工作人員產(chǎn)生的污染： 

4. 分析國(guó)外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為： 

八、無(wú)塵室有五個(gè)特性 : 

1. (1) 耐久性: 

2. (2) 清洗: 

3. (3) 成本: 

4. (4) 適應(yīng)性: 

5. (5) 維護(hù)性: 

無(wú)塵室用空調(diào)箱選用時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng) 

1. (一) 就政府法令而言 

2. (二) 就成本而言 

3. (三) 就工作參數(shù)設(shè)定而言 

4. (四) 就建筑考慮方面 

5. (五) 就管理合成物的規(guī)格方法 

展開(kāi) 

編輯本段一、無(wú)塵室

　　無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 

　　無(wú)塵室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例， 

無(wú)塵室

無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非*沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。 

　　如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。 

二、無(wú)塵室控管之項(xiàng)目

　　1. 能除去空氣中飄游之微 

無(wú)塵室

塵粒子。 

　　2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 

　　3. 溫度和濕度之控制。 

　　4. 壓力之調(diào)節(jié)。 

　　5. 有害氣體之排除。 

　　6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。 

　　7. 靜電之防制。 

　　8. 電磁干擾預(yù)防。 

　　9. 安全因素之考慮。 

　　10. 節(jié)能之考量。 

　　11.照度的的調(diào)節(jié) 

　　12.浮游菌及沉降菌的控制 

三、無(wú)塵室之分類(lèi)

1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無(wú)塵室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，并由無(wú)塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無(wú)塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋?zhuān)瑏?lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）。此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。 

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，無(wú)塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高無(wú)塵室等級(jí)。 

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制 

無(wú)塵室

程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。 

2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率*之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無(wú)塵室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其無(wú)塵室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種： 

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。 

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。 

　　缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。 

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。 

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 

　　缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。 

3.復(fù)合式(Mixed Type)：

　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 

　　(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域*覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。 

　　此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。 

　　潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。 

　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。 

　　(3)并裝局部無(wú)塵室(Clean Spot)：將無(wú)塵室等級(jí)10,000~100,000之亂流無(wú)塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。 

　　潔凈工作臺(tái)：等級(jí)Class 1~100級(jí)。 

　　潔凈工作棚：為在亂流式之無(wú)塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較*之潔凈空間，其等級(jí)為10~1000級(jí)，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。 

比較

亂流式

層流式

復(fù)合式

水平層流式

垂直層流式

潔凈隧道

潔凈管道

局部無(wú)塵

潔凈度

Class 1000~100000

Class 100~1000

全區(qū)Class 100

隧道內(nèi)Class 100

Class 100

**靠近面Class 100~1000

換氣次數(shù)（次/時(shí)）

15~80

100~300

300~500

隧道內(nèi)500~1000

100~300

100~300

風(fēng)速（m/s）

1~3

0.45~0.6

0.25~0.4

0.3~0.5

0.25~0.5

0.25~0.45

正壓度（mm wg）

0.5~1.5

1.0~2.0

1.5~2.5

1.0~2.0

1.0~2.5

1.0~3.0

相關(guān)概念：

　?。?）、自?xún)魰r(shí)間：是指無(wú)塵室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開(kāi)始送風(fēng)到無(wú)塵室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。 1,000級(jí)希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級(jí)希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級(jí)希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計(jì)算) 

　?。?）、換氣次數(shù)（按上述自?xún)魰r(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級(jí) 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí) 23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí)) 

四、無(wú)塵室氣流之流動(dòng)

　　無(wú)塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。 

　　無(wú)塵室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而無(wú)塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。 

　　無(wú)塵室內(nèi)的氣流是左右無(wú)塵室性能的重要因素，一般無(wú)塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以**適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。 

　　另一方面欲達(dá)到無(wú)塵室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。 

　　垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般無(wú)塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。 

　　影響無(wú)塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。 

　　一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無(wú)塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。 

　　無(wú)塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少****；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。 

五、無(wú)塵室之構(gòu)成

　　無(wú)塵室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無(wú)塵室： 

(1)天花板系統(tǒng)：

　　包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。 

(2)空調(diào)系統(tǒng)：

　　包括空氣艙、過(guò)濾器系統(tǒng)、風(fēng)車(chē)等。 

(3)隔墻板(Partitional wall)：

　　包括窗戶(hù)、門(mén)。 

(4)地板：

　　包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。